激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀的注意事項(xiàng):儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。庫存激光干涉儀
激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。黑龍江激光干涉儀要多少錢激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法。
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵,分辨率可達(dá)納米級;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):1、激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。2、激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。3、對激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動,安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。
激光干涉儀的維護(hù):儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時(shí),應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。2、光學(xué)零件不用時(shí),應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時(shí),須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。使用時(shí),各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一。天津自動化激光干涉儀
激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。庫存激光干涉儀
雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動時(shí)會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。庫存激光干涉儀